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台新技术突破PSS瓶颈良率接近100%

发布日期:2023-08-13 01:05浏览次数:
本文摘要:LED有许多制程,图案化蓝宝石基板(PSS)是其中之一,业界现以黄光微影技术处置PSS,生产能力受限,良率亦不理想。 台湾顺利大学机械工程学系教授李永春率领团队研发出有全新的软性光罩微影技术,良率完全百分之百,解决业界困惑的量产、良率等问题。业界寄予厚望此技术前景,与该团队合作,期望以软性光罩微影关键技术与元件,提供支援下一世代LED产业的发展,并进占韩国、大陆、日本的PSS市场。

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LED有许多制程,图案化蓝宝石基板(PSS)是其中之一,业界现以黄光微影技术处置PSS,生产能力受限,良率亦不理想。  台湾顺利大学机械工程学系教授李永春率领团队研发出有全新的软性光罩微影技术,良率完全百分之百,解决业界困惑的量产、良率等问题。业界寄予厚望此技术前景,与该团队合作,期望以软性光罩微影关键技术与元件,提供支援下一世代LED产业的发展,并进占韩国、大陆、日本的PSS市场。

  李永春教授回应,LED使用的蓝宝石基板硬度极高,在讲究LED低闪烁效率的拒绝下,必须在基板上作出极微小、细致的图案结构,才能有高的闪烁效率。5年前业界使用玻璃光罩技术,但硬式玻璃光罩与基板的契合度不欠佳,很难在基板上作出细致的图案与结构。后来转用感应式黄光微影技术与步进式曝光机台,但此技术合适处置半导体产业中小面积与个别图形的曝光,用作LED-PSS大面积为结构的曝光时,不会有费时、费工、图形支架、光学失焦等问题,且量产效率较低,良率亦不颇理想。

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  李永春教授认为,软性光罩微影技术,以软性材质覆于蓝宝石基板上,没昔日玻璃光罩技术的硬碰硬、做到不来细致结构的问题,也没黄光微影只合适小面积曝光的后遗症。以软性光罩微影技术作出的PSS,有效地的解决上述两个问题,而且过程十分平稳。李永春教授说道,现行的黄光微影技术,要在PSS上作出低解析度的小型图案,以6寸大小的产品为事例,1小时不能做到4、5片,而且还有良率不理想的问题,估算1小时生产的可用品大约2片,若改为使用软性光罩处置技术1小时可做到4、50片,也没良率的问题,至于代工费用,使用黄光微影制程1片约80至100美元,转用软性光罩处置技术可以减少大约一半的制程成本。  李永春教授特别强调,成大研发的软性光罩微影技术,不只革命性的解决了业界长期以来生产PSS的大瓶颈,还有一层近于根本性的义意技术自律。

李永春教授回应,目前业界已争相打听软性光罩微影技术,预计明年初的第一季才可问市,估算一到两年后业界就不会乘机第一时间。


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